微型气体流量计因其体积小、响应快的特点，广泛应用于医疗设备、半导体制造及实验室分析等场景。其安装需严格遵循技术规范，确保测量精度与设备寿命。以下从安装准备、管道处理、设备安装、电气连接及调试校验五大环节展开说明。
一、安装前准备：环境与设备双核查
1.环境评估：选择远离强电磁干扰（如变频器、大功率电机）及强振动的区域，避免传感器因电磁噪声或机械振动产生测量漂移。例如，在半导体设备供气系统中，流量计需与射频电源保持至少1米间距。
2.管道清洁：使用压缩空气或氮气对管道进行吹扫，清除焊渣、锈蚀及油污，防止杂质堵塞传感器。推荐采用双端吹扫法：从上游进气口通入气体，在下游排气口检测气体洁净度，直至无可见颗粒物。
3.设备检查：确认微型气体流量计型号与介质特性匹配（如测量氩气需选择耐腐蚀涂层传感器），检查密封圈完整性，并核对出厂校准证书的有效期。
二、管道处理：直管段与密封工艺
1.直管段要求：流量计上游需保证5倍管道直径（5D）的直管段，下游需3倍（3D）。例如，在φ25mm管道中，上游直管段长度应≥125mm。若空间受限，可通过安装流量整流器缩短直管段需求。
2.密封工艺：采用全金属密封垫片（如316L不锈钢缠绕垫），避免橡胶垫片受气体腐蚀脱落。法兰螺栓紧固需对角分三次拧紧，最终扭矩控制在15~20N·m，防止应力导致传感器变形。
三、设备安装：方向与固定规范
1.安装方向：按流量计标识的箭头方向安装，确保气体流向与传感器检测面垂直。例如，在医疗呼吸机供气系统中，若反向安装可能导致涡流干扰，使测量误差达±5%以上。
2.固定方式：使用刚性支架固定流量计，避免管道热胀冷缩导致位移。推荐在流量计上下游各安装一个弹性伸缩节，吸收管道轴向应力。
四、电气连接：信号与电源隔离
1.信号线敷设：采用双绞屏蔽电缆（如RVVP 2×0.75mm2），屏蔽层单端接地，接地电阻＜4Ω。信号线与电源线间距需＞20cm，防止50Hz工频干扰。
2.电源配置：若设备支持24VDC供电，需配置线性电源（纹波＜50mV），避免开关电源高频噪声影响模拟信号输出。
五、调试校验：零点校准与实流验证
1.零点校准：在管道无气体流动时，通过菜单进入零点校准模式，待数值稳定后保存参数。例如，在测量氮气时，零点漂移应≤±0.5%FS。
2.实流验证：使用标准流量发生器（如活塞式气体流量标准装置）进行比对，测量误差需在±1%FS以内。例如，在100sccm量程下，实测值与标准值偏差应≤1sccm。
通过标准化安装流程，微型气体流量计可实现长期稳定运行。在半导体刻蚀设备中，某案例通过优化直管段长度与屏蔽接地，将氩气流量测量重复性从±1.5%提升至±0.8%，保障了工艺良率。
更新时间：2025-04-25 
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